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我公司承擔02專項課題順利通過國家正式驗收

北廣科技承擔的“射頻發生器研發與產業化”國家科技重大專項02專項課題,已于2019年1月26日完成了綜合績效評價,順利通過國家正式驗收。這標志著北廣科技首次承擔的國家科技重大專項任務圓滿完成。

“02專項”是《國家中長期科學和技術發展規劃綱要(2006-2020年)》確定的十六個重大專項之一,旨在開發集成電路關鍵制造裝備,掌握具有自主知識產權的成套先進工藝及相關新材料技術,打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進口的狀況。公司研發的射頻發生器產品達到了研制任務合同書的各項要求,具備了進入集成電路行業的技術條件。課題促進了國內射頻發生器零部件行業的技術水平和產業發展,提升了產業競爭力,推動了我國集成電路等行業關鍵制造設備的國產化進程。

“射頻發生器研發與產業化”課題,面向極大規模集成電路制造裝備及成套工藝對射頻發生器的功率穩定度、精度和線性度等技術要求,突破了一系列關鍵技術瓶頸,研發了三款射頻發生器產品。新產品通過了北京北方華創微電子裝備有限公司的工藝測試驗證考核,并且通過了第三方科學技術成果評價,具備國際先進水平。此前,本課題已通過了組織嚴格的現場測試、檔案正式驗收和內部驗收。本輪正式驗收,評審專家組聽取了課題完成情況報告和現場測試組的驗收測試報告,審閱了驗收資料,經過專家組問詢、討論和逐項打分,認定課題已經完成合同書中約定的各項考核指標,一致同意課題通過驗收!

“射頻發生器研發與產業化”課題,共獲得了4000多萬元的國家政府資金資助,申請了42項專利(其中國內發明專利34項,國際發明專利3項),備案發布了3項產品的企業標準,建設了小批量生產線,培養打造了一支專業化的產業團隊。射頻發生器的研發成功和產業化實施,為公司打造高端產品,向專業化、產業化和國際化戰略發展,實現北廣科技“做強國內行業之首、創建國際知名企業”做出了貢獻!


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